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韓企推進(jìn)存儲半導(dǎo)體技術(shù)升級

2024-09-12 11:36:10    來源：科技日報(bào)

來源標(biāo)題：韓企推進(jìn)存儲半導(dǎo)體技術(shù)升級

韓國半導(dǎo)體龍頭企業(yè)三星電子和SK海力士近期針對第六代10納米級動態(tài)隨機(jī)存取存儲器(DRAM)進(jìn)行技術(shù)升級。

SK海力士于8月底宣布開發(fā)出業(yè)界首款第六代10納米級DRAM芯片。該芯片運(yùn)行速度為8Gbps(千兆比特/秒)，與前一代相比速度提高了11%，將主要用于高性能數(shù)據(jù)中心。SK海力士表示，該芯片比前一代的能效提高了9%以上，在當(dāng)前人工智能蓬勃發(fā)展的時期，可幫助數(shù)據(jù)中心減少多達(dá)30%的電力成本。

三星電子半導(dǎo)體部門目前正在對干式光刻膠技術(shù)進(jìn)行內(nèi)部評估，計(jì)劃率先將其應(yīng)用于三星電子10納米級第六代DRAM中。干式光刻膠技術(shù)用于半導(dǎo)體電路曝光工藝之前。在當(dāng)前曝光工藝條件下，會在晶圓上涂抹一種對光敏感的液體光刻膠。干式光刻膠技術(shù)則無需涂抹液體光刻膠，通過化學(xué)反應(yīng)在晶圓上形成一層薄膜，較涂抹液體光刻膠更薄且更均勻。此外，干式光刻膠還能更精確地刻出超微細(xì)電路，并且相較液體光刻膠的材料浪費(fèi)更少。

三星電子正在考慮在10納米級第六代DRAM的40—50層堆疊中，將干式光刻膠技術(shù)用于某一層電路的制造。此外，這項(xiàng)技術(shù)也將用于超微細(xì)電路的極紫外光(EUV)光刻膠。如果三星電子成功將干式光刻膠技術(shù)用于量產(chǎn)，將對現(xiàn)有光刻材料與設(shè)備生態(tài)系統(tǒng)產(chǎn)生重大影響。

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